两天后。
深市恒远科技半导体研究院。
这个研究院是由恒远科技集团投资成立的半导体研究院,总共占地面积988亩,其内有光刻机、芯片设计、封装技术、先进制造,半导体材料等八个区域,涵盖半导体领域所有关键环节,是整个广省最大的半导体研究基地。
此时,在光刻机研发大楼,一级实验室内数十名科学家正紧张地盯着眼前光刻机试验运行。
“开始吧!”华富国全身裹着防尘服,严肃道。
“是!”
两名科研人员开始操作启动这一台实验原型机。
“嗡嗡——”
光刻机发出细微而沉闷的声音,在启动成功后声音消失,各部件开始工作。
“成功了吗?!”一名头发花白的老科学家满怀期待道。
顿时所有科研人员无不把目光聚焦在流片出口处,脸上都写满了紧张。
这是他们第12次开启2纳米光刻机原型机试验运行了!
为了这一次试验运行,每个人夜以继日地奋斗着。
换组件,修工件台,调整激光光源等等,为了让它能成功运转,所有科研人员都付出了巨大的心血!
每一次试验运行都让他紧张到屏住呼吸!
过了一会儿,机器内的光源闪烁。
“滋滋滋——!”
“滴滴滴!”
机器发出红光警报,流片出口处打开,一片晶圆从里面吐出。
“我的天!又失败了!”操作极其的中年人很是懊恼地喊道。
另一个中年人拿起那一片晶圆,查看一番,叹气道:“华总师,晶圆失败了……”
晶圆刻蚀失败那就意味着这台光刻机试验宣告失败!
“又失败了!第12次了啊!”有人叹气道。
现在数十个科研人员听到这个消息脸上无不露出失落之色。
华富国苦笑一声,“最后一步了啊,最后一步了啊!”
“到底是哪里出了问题?”
“纪老,您觉得是什么原因?”
所有人齐刷刷看向那个满头白发的老人,纪为民,他是比华富国更早一批研究光刻机的专家,也是大夏龙科院院士,在光刻机领域拥有极深厚的基础知识,一辈子岁月都扑在光刻机研究上面,在科学界内德高望重。
他之所以到恒远科技的半导体研究院帮助华富国研发2纳米光刻机,是
得到广省芯片协会的曹舟和邓高木介绍,当他知道这是一个2纳米制程光刻机项目的时候,毫不犹豫就答应过来帮忙。
“我先去看看。”纪为民颤颤巍巍地走到光刻机面前,仔细检查起来。
“还是激光光源问题呀!”
“193纳米的分子激光光源无法稳定运行!”
“如果不能解决这个部件稳定性的问题就,恐怕就算试验一百次都会是失败的!”
纪为民咳嗽两声,神色失落道。
“可我们都已经换了五个光源方案了啊!怎么还不行呢?”一个戴着厚眼镜片的老科学家问道,他也是经由芯片协会介绍来的行业专家,同时也是激光领域科学家,名叫魏毅。
“老师,会不会是华总师提供的设计方案有问题呢?”魏毅身边一个三十岁出头的男人猜测道。
“卢俊,我们做科研要讲究理性证据,不要有那么多猜测,先把出现问题的控制程序排查一下吧。”魏毅扭头瞪了一他一眼。
卢俊低下头嘀咕几声,“我就只是这么猜测一下而已嘛……”
“不要无端猜测,你啊,改改这个臭毛病。”曾毅训斥道。
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